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HORIBA 堀场
HORIBA 堀场
HORIBA堀场 产品特点: HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品,涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类,是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性,适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液,支持半导体工业通讯与产线自动化闭环...