双通道高精度氢氟酸浓度计

Name: 双通道高精度氢氟酸浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: HF-SP-CU-STD

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产品名称: 双通道高精度氢氟酸浓度计

产品型号: HF-SP-CU-STD

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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双通道高精度氢氟酸浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

项目	参数说明
型号	HF-SP-CU
测量介质	HF 氢氟酸药液
测量精度	*高 ±2.0 ppm
通道配置	双通道独立传感器
核心功能	高速采样输出、微制程浓度管控、传感器内置压力校正
配套组件	2 支流通式 HF 专用传感器、连接线缆、主控转换基板
适用场景	半导体晶圆精细清洗、蚀刻精密制程

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