首页 >>> 产品目录 >>> 科学研究·开发用品 >>> 分析测定仪器 >>> 压力计

电容式真空压力计

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 电容式真空压力计
产品型号: VG-221S
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: HORIBA 堀场
产品文档: 无相关文档

电容式真空压力计  的详细介绍

HORIBA堀场 产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。


应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。



项目 VG-211S VG-221S
传感器温度 环境常温 25℃ 55℃ / 100℃ 恒温加热
测量量程 (A **压力) 133.32Pa、1.3332kPa、13.332kPa 133.32Pa、1.3332kPa、13.332kPa
精度 0.5%R.S / 0.25%R.S 0.5%R.S / 0.25%R.S
分辨率 0.03%F.S / 0.01%F.S 0.03%F.S / 0.01%F.S
零点温度系数 0.01%F.S/℃ / 0.005%F.S/℃ 0.005%F.S/℃ / 0.0025%F.S/℃
响应时间 ＜60msec ＜60msec
工作环境温度 10~50℃ 10~50℃
接触介质材质 SUS316L SUS316L
耐压上限 300kPa(A) / 350kPa(A) 300kPa(A) / 350kPa(A)
输出信号 0~10VDC，负载≥10kΩ 0~10VDC，负载≥10kΩ
接口规格 D-Sub15pin D-Sub15pin
供电选项 ±15VDC（*大 0.1A）；24VDC 2.4W ±15VDC（*大 0.6A）；24VDC 22W
预热时间 15min 55℃款 60min / 100℃款 120min
标准安装接口 KF16、1/2 英寸 VCR 外螺纹、ICF34、1/4 英寸 VCR 外螺纹 KF16、1/2 英寸 VCR 外螺纹、ICF34、1/4 英寸 VCR 外螺纹
附加功能 集电极开路输出、外部归零输入 集电极开路输出、外部归零输入


产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!