电容式真空压力计

Name: 电容式真空压力计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: VG200-S2

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产品名称: 电容式真空压力计

产品型号: VG200-S2

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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电容式真空压力计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	规格值
产品型号	VG-200 系列（VG-221）
满量程可选	133.32Pa(10T)、1.3332kPa(11T)、13.332kPa(12T)、133.32kPa(13T)
传感器控温	55℃ / 100℃ 二选一
精度	0.5% R.S.(55℃款) / 0.25% R.S.(100℃款)
分辨率	0.03%FS / 0.01%FS
零点温度系数	0.005%F.S./℃、0.0025%F.S./℃
量程温度系数	0.03%R.S./℃、0.02%R.S./℃
工作环境温度	10~45℃(55℃加热型)；10~50℃(100℃加热型)
响应时间	＜60msec
预热时长	60min(55℃)、120min(100℃)
耐压上限	350kPa(A)
输出信号	0~10V 模拟输出，负载≥10kΩ
供电电源	±15VDC ±5% 或 24VDC ±5%，*大 0.6A
触点输出	2 路设定点，1a/1b 触点，30VDC/0.1A 负载
认证标准	CE、RoHS

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