红外气体监测仪

Name: 红外气体监测仪
Brand: HORIBA 堀场
SKU: IR-200-MULTI

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产品名称: 红外气体监测仪

产品型号: IR-200-MULTI

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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红外气体监测仪 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

型号	检测气体	测量量程	气室配置	适配工况	法兰接口	配套控制器
IR-200-SIF4	SiF₄标准款	0~5000ppm	30mm 标准光程，150℃加热	常规硅基腔体清洗	NW25	标准小型控制器
IR-200-MULTI	多气体拓展款	0~5000ppm (SiF₄)，兼容 SiF₃、卤素气体	加长光程气室，抗交叉干扰	多工艺混用产线	NW25	多功能控制器，多阈值设定
IR-200-HT	高温强化款	0~5000ppm	气室恒温 180℃耐高湿尾气	高水汽排放腔体	NW25-HT	高温适配控制器
IR-200-BASIC	基础经济型	0~3000ppm SiF₄	标准 30mm 光程，*高 120℃加热	低浓度稳定产线	NW25 简易法兰	简化型控制器

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