高精度 TMAH 浓度计

Name: 高精度 TMAH 浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: HE-960H-TM-S-TC

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产品名称: 高精度 TMAH 浓度计

产品型号: HE-960H-TM-S-TC

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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高精度 TMAH 浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	HE-960H-TM-S-STD	HE-960H-TM-S-MCH	HE-960H-TM-S-TC	HE-960H-TM-S-HD
适配传感器	FES-510 标准流通碳传感器	FES-510 全规格流通探头	FES-510 高精度温控专用传感器	FES-510 高耐化学腐蚀强化款
测量量程	TMAH 0~3%、电导率 0~1000mS/cm	TMAH 0~3%、电导率 0~1000mS/cm	自动分段量程切换，低浓度显示更精细	全量程稳定适配长期显影液工况
测量精度	重复度 / 线性 ±0.003wt%（温控＜±0.5℃）	多通道同步采集误差自动补偿	温度波动抑制至 ±0.3℃，漂移更低	长期连续测量无精度偏移
信号输出	4 路隔离 4~20mA 模拟、5 路继电器报警触点	4 路模拟输出 + RS485 总线组网通讯	温度独立变送输出通道	输出回路强化隔离，抗洁净车间电磁干扰
供电规格	DC24V±10%，额定功率 10W	DC24V±10%，额定功率 10W	高精度稳压电源模块	内置电源浪涌防护电路
传感器液接材质	GC 玻璃碳 + PFA+Kalrez 密封件	全套耐 TMAH 腐蚀材质通用	耐高温改性 Kalrez 密封圈	加厚防腐 PFA 内衬，抗药液渗透
整机重量	约 550g	约 550g	约 550g	约 610g
附加功能	自动量程切换显示、三参数同步监测	上位机远程数据读写、多设备并联	温度曲线自定义补偿算法	传感器断线、通讯故障双重自检报警

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