MPS 残余气体分析仪

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: MPS 残余气体分析仪
产品型号: MPS100M
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
产品文档: 无相关文档

MPS 残余气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Transpector MPS(MPS100F/MPS100M、MPS200F/MPS200M)
产品名称 通用真空型残余气体质谱分析仪 (RGA)
质量范围 1~100amu / 1~200amu
传感器真空侧长度 14.3cm 短款 /19.3cm 长款
检测器类型 FC 法拉第杯 / EM+FC
灯丝类型 双氧化钇铱灯丝
分辨率 全质量范围,10% 峰高处<1amu
*大数据速率 3ms / 点(模拟扫描 / 选峰模式)
总压测量区间 2×10⁻⁷ ~ 5×10⁻⁴ Torr
*高工作压力 5×10⁻⁴ Torr
*高烘烤温度(拆除电子件) 200℃
传感器*高工作温度 FC:200℃;EM:150℃
供电 20~30V 直流,*大 30W,典型 24V 直流
通讯接口 CAT5e 以太网
应用场景 真空炉、热处理、真空镀膜,真空检漏、污染物监测、碳氢化合物分析、真空状态诊断

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!