ULVAC 溅射工艺 CGM2-052
特点 适用于各种溅射系统的工艺监控 Air Leak监控 残留水分管理 无需差动排气系统(less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar) 内置显示屏:无需PC可单独操作使用 可进行高灵敏度泄漏测试(CGM2-052) 可进行全压测定 操作简单-One Click功能 标配Qulee QCS软件 支持CE标准 用途 适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。 用于溅射设备的泄漏测试。 规格
M/△M=1M(10% P.H.)
上海岩濑国际贸易有限公司 Tel:021-63333-365 Fax:021-63333-367 Add:上海市松江区沪亭北路199弄九亭中心5号楼811室 Email:sh@iwase365.com