ULVAC RGM2-201F 反应过程气体监视器
特点 排气系统和控制系统集成,实现纵向放置,即使在空间有限的生产线上也可以进行反应气体监测,因为足迹是世界上*小的。 在维护期间,灯丝套件的更换速度大大提高2名工人在10分钟内完成了120分钟的工作。 使用双灯丝,即使**根灯丝断线,也可以在不停止生产线的情况下进**体分析。 采用触摸屏,可以实时检查情况。 从启动到测量的操作仅在个人计算机上完成。 采用敝公司独特的带磁铁的Closed Ion Source,即使在反应性过程中也可以长时间稳定测量。 由于具有低气体解离和高灵敏度的电离室,因此仅使用法拉第杯就可以进行高灵敏度的气体分析。 一种紧凑的流道控制阀,可防止热反应引起的分解和吸附。 缩短了从工艺室到离子源的距离,可以快速响应分解。 增强预防保护功能 离子源,二次电子倍增管的预防性保护 安装分析管的可追溯性功能 (**5016031号) 标准软件与Windows 8/10/11兼容。 用途 CVD·ALD·Etching装置 过程中反应气体的监测 蚀刻清洗过程的端点监视器 残余气体测量 规格
传感器
*1 备用灯丝 (FIL2) 不适用
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