溅射工艺

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产品名称: 溅射工艺

产品型号: CGM2-102

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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溅射工艺 的详细介绍

ULVAC 溅射工艺 CGM2-102

特点
适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
内置显示屏：无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-102）
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准
用途
适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。
用于溅射设备的泄漏测试。
规格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型号	CGM-051	CGM2-101	CGM-052	CGM2-102
质量分离方式	四极型质量分析仪
质量数范围	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
检出器	法拉第杯		二级电子倍增管／法拉第杯
感度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
*小检知分圧	1x10^-7Pa		1x10^-10Pa
*大使用圧力	2Pa		2Pa(FC)1x10^-2Pa(SEM)
线性	1Pa
全压力测量功能	有
Degas function	Electron bombard type 300V, 5mA
一键检漏功能	有 / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
电源电压	DC24V±10％　50W
*大烘烤可能温度 (传感器单元连接时)	120℃
*大烘烤可能温度 (传感器单元移除时)	250℃
使用温度范围	10～40℃
接口	Ethernet
软件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
符合标准	CE

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