宽压力范围残余气体分析仪

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产品名称: 宽压力范围残余气体分析仪
产品型号: XPR3+ EM
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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宽压力范围残余气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Transpector XPR 3+
产品名称 宽压力范围残余气体质谱分析仪 (RGA)
质量范围 1~100amu
质量过滤器 四极杆
检测器类型 离轴法拉第杯 FC + 微通道板 EM
分辨率 质量 4,20,28,40 在 10% 峰高处<1amu
*高工作压力 20mTorr (2.6E-2 mbar);线性区间 10mTorr (1.3E-2 mbar)
*小可检分压 FC:≤1E-9 Torr;EM:≤6E-12 Torr
传感器*高工作温度 150℃
*高烘烤温度(拆除电子件) 200℃
检出限 (1–5mTorr 工况) 10 ppm
供电 20–30V 直流,*大 30W
通讯接口 CAT5e 以太网
标准 I/O 1 路模拟输入、2 路数字输入、1 路继电器 24V/0.5A;可选扩展 I/O
应用场景 PVD 溅射腔体、预清洗模块、非集群 PVD 设备、夹持式脱气模块,半导体与面板工艺漏气、杂质、碳氢污染物实时监控

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