QMG800 分析型残余气体分析仪

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: QMG800 分析型残余气体分析仪
产品型号: QMG800-QMA400-BASIC
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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QMG800 分析型残余气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 QMG 800(QMA430 / QMA400)
产品名称 分析型残余气体质谱分析仪 (RGA)
质量范围 QMA430:1~300 AMU;QMA400:1~512 AMU
四极杆材质 QMA430:不锈钢;QMA400:钼
*高工作压力 1E-5 mbar
*小可检分压 QMA430:2E-15 mbar;QMA400:1E-15 mbar
检出分压比(电子倍增器) QMA430:<1 ppb;QMA400:<0.5 ppb
测量速度 125 μs / AMU
离子源类型 轴向、交叉束、密封交叉束、带磁交叉束、栅极离子源可选
灯丝类型 氧化钇铱灯丝 / 钨灯丝
探测器 90° 离轴 SEM,单离子检测
*高工作温度 40℃;拆除电子件*高烘烤 400℃
通讯协议 OPC UA,支持 OEM 集成
配套软件 FabGuard® 全系列软件
应用场景 半导体污染监测、高纯气体纯度管控、工艺痕量杂质分析、真空腔体精密诊断

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