单压力残余气体分析仪

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 单压力残余气体分析仪
产品型号: APX-ALD-100
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
产品文档: 无相关文档

单压力残余气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Transpector® APX ALD Single Pressure
产品名称 单压力残余气体质谱分析仪
质量范围 1~100 amu / 1~200 amu / 1~300 amu
峰宽(10% 峰高) <1 amu
离子源类型 封闭式离子源
总压力区间 5E-7 ~ 1E-3 Torr
系统工作压力 1E-8 Torr ~1.2 atm
*低检出限 <10 ppb~50 ppb(按型号)
*大数据速率 >555 数据点 / 秒
入口特性 温控入口,INFICON 专用涂层,抗腐蚀性化学气体
配套软件 FabGuard® 工艺监控诊断软件
应用场景 半导体 ALD、PECVD、CVD、刻蚀,腔室清洗终点监控、工艺诊断

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!