LP100 + 气体分析仪

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产品名称: LP100 + 气体分析仪
产品型号: LP100+-FULL
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
产品文档: 无相关文档

LP100 + 气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Quantus® LP100+
产品名称 光学气体分析仪
检测原理 SPOES 自等离子体光学发射光谱
工作压力 10 mTorr ~ 1 Torr
光谱范围 200–850 nm(紫外 - 可见光),16bit,3648 像素
检出限 低 ppm 级别(依应用而定)
曝光时间 *短 1 ms
采样速率 10 Hz
真空接口 KF25
外形尺寸 H87 × W150 × L241 mm
维护特性 无泵、无耗材;等离子体腔可现场更换
安装位置 工艺腔、前级管路、排气管道均可安装
应用场景 半导体制造,工艺监测、泄漏检测、刻蚀终点判定

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