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工艺监控仪

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产品名称: 工艺监控仪
产品型号: RGM2-302
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

工艺监控仪  的详细介绍

ULVAC 工艺监控仪 RGM2-302

特点
可以在反应过程中长时间进行稳定的测量
采用具有磁场的Claude离子源
软电离可防止在高灵敏度电离室因热反应而产生的分解和吸附，同时气体离解较少
紧凑型流量控制阀
处理室到离子源的距离很短，可以快速响应分辨率
可以测量宽范围的压力10-6 to 13kPa（口径可选）
无需电脑也可以测量
One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
连接传感器单元时，*大可以进行120℃的高温烘烤
离子源，二次电子倍增管的预防性维护分析管加载了可追溯性（**申请中）
可进行氦气检漏，漏气测试
标准搭载软件（Windows 8/10/11）
用途
CVD/ALD/蚀刻设备
监测工艺中的反应气体
蚀刻和清洁工艺的末端监测
残留气体测量
检漏
规格

型号 RGM2-202 RGM2-302
传感器
质量分离方式 四极型质量分析仪
质量数范围 1～200 amu 1～300 amu
分解能 M/△M=1M (10%P.H.)
检出器 SEM/法拉第杯
感度 1×10-3 A/Pa
*小检知分圧 1×10-10 Pa
离子源 带磁铁的闭合离子源
灯丝 V字型 Ir/Y2O3 1个
电力电压 20～70 eV
放射电流 10μA
放大器范围 1×10-5～1×10-12 A
可烘烤温度 120℃
差動排气系统
气体导入阀 带孔流量控制阀
*大采样压力 13kPa
差动排气系统 带中间排气，吹扫的涡轮分子泵。
涡轮分子泵 67L/s：N2
前级泵 DIS090
皮拉尼真空计 SW1-1
电离真空计 GI-M2
质量 排气系：57kg／控制系：38kg
效用
电源电压 AC100V 15A
压缩空气 Dry N2：0.4～0.7MPa (Φ6一触式配件)
控制器单元
One Click功能 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
PC交互 RS-232C / 485
外部入输出 类似物输入2点（0-10V）
设定点输出2点（异常、警告）
外部联锁（压力保护）
其他
烘烤加热器 带式加热器
高度调整架 标准
传感器部一控制部链接电线 约5m
接口 Ethernet
软件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
选项 PC


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