四极质谱仪

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产品名称: 四极质谱仪

产品型号: Qulee with YTP-H(大气压规格）

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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四极质谱仪 的详细介绍

ULVAC 四极质谱仪 Qulee with YTP-H(大气压规格）

特点
**的性价比通过差分排气系统，可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析（RGA）
紧凑的设计采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
显示部分一体化的设计无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
规格压力可选择 3000Pa，500Pa，100Pa，10Pa和1Pa的规格
可根据应用选择型号质量数1 ～ 100（BGM2-101/102）、1 ～ 200（BGM2-201/202）、 1 ～ 300（HGM2-302）
低噪音：运行时43dB(A)以下
无需真空计专用显示器：真空计信号可以在操作屏上显示（真空计可选）
完整的检漏功能可以进行氦气检漏和漏气测试
Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4.2以降) 软件（Windows 8/10/11）适用
用途
研究开发用途的各种气体分析
溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认

规格

气体分析仪主机

		Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 から選択有关 Qulee 主机的规格，请参阅单独的产品目录。
		软件 Qulee QCS 4.2 或更高版本（与 Windows 8/10/11兼容）
采样压力		大気圧
大気圧仕様大气压力采样装置 APS-001	毛细管系统 (100,000Pa仕様)	干泵（扫描系统）	６L/min 到達圧力：6700Pa
		制御装置	温度控制和筒式加热器的 ON/OFF、扫描泵的 ON/OFF
		毛细管装置	手动波纹管阀（1 个系统）、插装式加热器、隔热垫、安装毛细管取合継手：1/4”スウェジロック
		電源電圧	AC100Vまたは、220V
排気ユニット	Desktop YTP (YTP70A-D)	涡轮分子泵	排気速度 70L/s (N₂)
		干泵（粗加工系统）	排気速度 20L/min (ダイヤフラム型)
		電源電圧	AC100-240V
付属品		100 V AC 连接电源线 1、DesktopYTP 用底座 2、Qulee 用交流适配器、Qulee 用 LAN 电缆（3 米）、软件安装盘、固定法兰用螺栓组、密封垫（ICF114G、ICF070G）、OA 水龙头 3 3、脚轮 4、各种固定螺钉
选项		电离真空计套件（电离真空计 SH200-1、2 米测量电缆、交叉型管道、螺栓套件、垫圈）、USB-LAN 适配器、交换集线器（8 端口/16 端口）5、落地推车套件 6

*1 在日本国内 100 V 交流电以外的环境中使用时，请单独购买电源线。需要三根电源线：一根用于大气压力采样装置，一根用于 DesktopYTP，一根用于 Qulee 交流适配器（用于大气压力规格）。
*2 必须在安装 DesktopYTP 时使用。对于大气压规格，控制装置安装在两层结构中。
*3 OA 分接头仅适用于在日本 100 V AC 使用的常压规格。
*4 脚轮仅适用于常压规格。安装工作由客户自行完成。
*5 交换集线器需要单独的交流适配器。
*6 地板式推车的组装由客户自行完成。

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