四极质谱仪

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产品名称: 四极质谱仪

产品型号: Qulee with YTP-H

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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四极质谱仪 的详细介绍

ULVAC 四极质谱仪 Qulee with YTP-H

特点
**的性价比通过差分排气系统，可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析（RGA）
紧凑的设计采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
显示部分一体化的设计无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
规格压力可选择 3000Pa，500Pa，100Pa，10Pa和1Pa的规格
可根据应用选择型号质量数1 ～ 100（BGM2-101/102）、1 ～ 200（BGM2-201/202）、 1 ～ 300（HGM2-302）
低噪音：运行时43dB(A)以下
无需真空计专用显示器：真空计信号可以在操作屏上显示（真空计可选）
完整的检漏功能可以进行氦气检漏和漏气测试
Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4.2以降) 软件（Windows 8/10/11）适用
用途
研究开发用途的各种气体分析
溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认
规格

气体分析仪主机		Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 から選択有关 Qulee 主机的规格，请参阅单独的产品目录。
		软件 Qulee QCS Ver 4.2 或更高版本（与 Windows 8/10/11兼容）
*大采样压力		3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa から選択
真空仕様	气体导入系统 (3000 ~ 1Pa仕様)	手动波纹管阀（2 条管路：孔板管路/直接管路）配套法兰：ICF070
	*大取样压力	3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Paから、1種類を選択
可变泄漏阀规格	取样压力	可通过手动调节从大气压力控制到约 1e-3 Pa。
排气装置	Desktop YTP (YTP70A-D)	涡轮分子泵	排気速度 70 L/s (N₂)
		干泵（粗加工系统）	排気速度 20 L/min (隔膜式）
		電源電圧	AC100-240V
付属品		用于 100 V AC 的连接电源线 1、用于 DesktopYTP 的底座 2、用于 Qulee 的交流适配器、用于 Qulee 的 LAN 电缆（3 米）、软件安装盘、法兰固定螺栓组、垫圈（ICF114G、ICF070G）、固定螺钉各种
选项		电离真空计套件（电离真空计 SH200-1、2 米测量电缆、交叉型管道、螺栓套件、垫圈）、USB-LAN 适配器、交换集线器（8 端口/16 端口）3、落地推车套件 4

*1 在日本国内 100 V 交流电以外的环境中使用时，请另行购买电源线。
*2 安装 DesktopYTP 时，请务必使用此电源线。
*3 交换集线器需要单独的交流适配器。
*4 地板车套件的组装由客户自行完成。

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