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残留气体分析仪

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产品名称: 残留气体分析仪
产品型号: HGM2-202
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

残留气体分析仪  的详细介绍

ULVAC 残留气体分析仪 HGM2-202

特点
测量质量范围 1～200 amu
各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为**功能的*高感光度∀2.5×10-6A/Pa
通讯接口 - 支持以太网通讯
显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元断开时：300°C）
搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法
维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器
增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能（**第5016031号）
增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
用途
热脱附分析等各种研究开发
超高/超高真空抽气设备的残余气体分析等。
气体中痕量杂质的测量
与太阳能电池相关的研发
有机分析
环境测量
规格

型式 HGM2-202 HGM2-302
質量分離方式 四重極型質量分析計
質量数範囲 1 ~ 200 amu 1 ~ 300 amu
分解能 M/ ΔM=1M (10% P.H.)
検出器 法拉第杯 二次電子倍増管 法拉第杯 二次電子倍増管
感度 2.5×10-6A/Pa
@1.0mA 		4 A/Pa 2.0×10-6A/Pa
@1.0mA 		4 A/Pa
*小検知分圧 10-9Pa台 10-13Pa台 10-9Pa台 10-13Pa台
*大仕様圧力 1×10-2Pa
灯丝 lr / Y2O3 2本
电离电压 25 ~ 70 eV (默认值：70 eV）
发射电流  0.1mA/0.5mA/1.0mA (默认值：0.5 mA）
DEGAS 電子衝撃脱離方式 330V, 5mA
全圧測定機能 有／ 10-2 ~ 10-5Pa
One Click機能 有／ He / H2O / N2 / O2 / Any gas
One Clickリークチェック機能 有
電源電圧 DC24V±10% 50W
質量
(传感器/分析管）  		2.4kg / 0.81kg
*高烘烤温度
(连接传感器时）
 250℃
*高烘烤温度
(传感器断开时）
 300℃
使用温度範囲 10 ~ 40℃
使用湿度範囲 15 ~ 80% (无结露）
IP保護等級 IP30 (传感器单元）
电源接口 MSTBV2.5 / 3-STF-5.08
通信接口 Ethernet仕様
外部 I/O 连接器 D-sub15ピン／M2.6ネジ(オプション)
通信连接器 RJ45
外部入出力信号 模拟输入（0-10 V）x 2、外部联锁输入（压力保护）x 1、错误输出 x 1（FIL、SEM、RF 错误时）、分压设定点输出 x 2（错误、警告）、总压设定点输出 x 1
软件 Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応）
標準付属品 电源连接器、LAN 电缆（3 米）、软件（安装 CD）、操作说明书（CD）
选件（参见 Qulee 选件目录） LAN 电缆（10、15、20、30、50 米）、交流适配器、USB-LAN 适配器、交换集线器（8 或 16 端口）、I/O 接口、护套加热器、便携箱
適合規格 CE

※使用交流电源时，请务必准备交流适配器（参见 Qulee 选件目录）。



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