残留气体分析仪

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产品名称: 残留气体分析仪
产品型号: BGM2-201
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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残留气体分析仪  的详细介绍

ULVAC 残留气体分析仪 BGM2-201

特点
性价比优异的通用规格
测量质量范围 1~100 amu
显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作
增强检漏功能
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
用途
真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
冷冻干燥设备的残留气体分析
研究开发用途的各种气体分析
规格

分解能M/△M=1M(10% P.H.)

型式 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202
質量分離方式 四重極型質量分析計
質量数範囲 1~100 amu 1~200 amu 1~100 amu 1~200 amu
検出器 法拉第杯 二次电子倍增器
法拉第杯
感度 10-7A/Pa 4A/Pa
*小検知分圧 10-8Pa 10-12Pa
*大使用圧力 1x10-2Pa
全圧測定機能
One Click機能 あり/He/H2O/N2/O2/Any gas
One Click
泄漏检查功能
電源電圧 DC24V±10% 50W
*大烘烤
可能温度
(连接传感器时)
120℃
*高烘烤温度
可能的烘烤温度
(传感器断开时)
250℃
使用温度範囲 10~40℃
软件 Qulee QCS Ver4.2以降(Windows8/10/11対応)
適合規格 CE
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