DSB 602 回转翼型干式真空泵

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产品名称: DSB 602 回转翼型干式真空泵
产品型号: DSB-603-IO
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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DSB 602 回转翼型干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 单位 参数
型号 - DSB-602
設計排气速度 (50Hz) L/min 667
設計排气速度 (60Hz) L/min 800
到达压力 Pa 12.0×10³
使用电机 - 3 相,200~277V/346~480V,1250W,4P
全负荷电流 A 50Hz:5.6(200-240V)/3.2(346-420V);60Hz:6.8(200-277V)/4.0(346-480V)
质量 kg 38
吸・排气口径 mm O.D.Φ27×I.D.Φ21(G3/4)
使用环境温度范围 ℃ 7~40
*大外形尺寸 mm 257(W)×544.5(L)×282(H)
认证 - CE 
标配 - 单段排气、带输入端子台,不含电源线,无内置电机保护

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