大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点:
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年,核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术,依托复合叶片结构,拓宽有效抽气区间,对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性,拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型,可提供耐腐蚀特殊规格,满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组,实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业:
产品广泛应用于众多**制造领域:半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工;理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置;航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备;同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景,大量配套日系精密工艺设备,可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
型号 无气镇抽速 (L/min) 吸气口法兰 排气口 极限压力 (Pa) 整机重量 (kg) 供电 核心特点 DSP251 230 KF25 KF25 0.5 16 AC100-230V 小型便携,基础抽速,适配小型腔体 DSP251 气镇款 200 KF25 KF25 2 16 AC100-230V 搭载气镇结构,可处理含水蒸气工况 DSP501 500 KF40 KF25 0.5 21 AC100-230V 大抽速机型,满足中等排气需求 DSP501 气镇款 430 KF40 KF25 2 21 AC100-230V 气镇配置,适合含冷凝气体工艺
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