大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点：
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年，核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术，依托复合叶片结构，拓宽有效抽气区间，对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性，拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型，可提供耐腐蚀特殊规格，满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组，实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业：
产品广泛应用于众多**制造领域：半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工；理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置；航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备；同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景，大量配套日系精密工艺设备，可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
型号 抽速 (L/min) 吸气口 排气口 极限压力 (Pa) 重量 (kg) 供电形式 核心特点 ER100D 1670 KF50 KF25 5.0 60 三相 200-220V 标准通用型多级罗茨干泵 ER100DC 1670 KF50 KF25 5.0 60 三相 200-220V 基础耐腐蚀标准机型 ER100D-HC 1670 KF50 KF25 5.0 60 三相 200-220V 强化防腐，适配轻度腐蚀性气体 ER100DC-HC 1670 KF50 KF25 5.0 60 三相 200-220V 全防腐配置，适合腐蚀工艺工况
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