DAU 20 高真空型隔膜干式真空泵

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产品名称: DAU 20 高真空型隔膜干式真空泵
产品型号: DAU-20D
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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DAU 20 高真空型隔膜干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 DAU-20 DAU-20A DAU-20B DAU-20C DAU-20D DAU-20E
产品名称 高真空三段隔膜干式真空泵 高真空三段隔膜干式真空泵 高真空三段隔膜干式真空泵 高真空三段隔膜干式真空泵 高真空三段隔膜干式真空泵 高真空三段隔膜干式真空泵
泵类型 干式隔膜泵(3 段排气) 干式隔膜泵(3 段排气) 干式隔膜泵(3 段排气) 干式隔膜泵(3 段排气) 干式隔膜泵(3 段排气) 干式隔膜泵(3 段排气)
50Hz 有效抽气速度 20L/min 20L/min 20L/min 20L/min 20L/min 20L/min
60Hz 有效抽气速度 23L/min 23L/min 23L/min 23L/min 23L/min 23L/min
到达压力 200Pa(-101.1kPa) 200Pa(-101.1kPa) 200Pa(-101.1kPa) 200Pa(-101.1kPa) 200Pa(-101.1kPa) 200Pa(-101.1kPa)
电机规格 单相 100V,80W,4P,电容运转 单相 100V,80W,4P,电容运转 单相 200V,80W,4P,电容运转 单相 220V,80W,4P,电容运转 单相 220V,80W,4P,电容运转 单相 230V,80W,4P,电容运转
全负荷电流 1.46A 1.46A 1.46A 1.46A 1.46A 1.46A
重量 7.5kg 7.5kg 7.5kg 7.5kg 7.5kg 7.5kg
吸排气口径 O.D.Φ10×I.D.Φ6(Rc1/8)mm O.D.Φ10×I.D.Φ6(Rc1/8)mm O.D.Φ10×I.D.Φ6(Rc1/8)mm O.D.Φ10×I.D.Φ6(Rc1/8)mm O.D.Φ10×I.D.Φ6(Rc1/8)mm O.D.Φ10×I.D.Φ6(Rc1/8)mm
使用环境温度 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃
外形尺寸 161(W)×327(L)×217(H)mm 161(W)×327(L)×217(H)mm 161(W)×327(L)×217(H)mm 161(W)×327(L)×217(H)mm 161(W)×327(L)×217(H)mm 161(W)×327(L)×217(H)mm
保护配置 内置自复位热保护器,带开关插头电源线 内置自复位热保护器,带开关插头电源线 内置自复位热保护器,带开关插头电源线 内置自复位热保护器,带开关插头电源线 内置自复位热保护器,带开关插头电源线 内置自复位热保护器,带开关插头电源线
备注 **室内使用;不可抽吸腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可凝蒸汽 **室内使用;不可抽吸腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可凝蒸汽 **室内使用;不可抽吸腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可凝蒸汽 **室内使用;不可抽吸腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可凝蒸汽 **室内使用;不可抽吸腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可凝蒸汽 **室内使用;不可抽吸腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可凝蒸汽

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