ULVAC 冷阴极电离真空计 SC1(日本产)/SC1-N(中国产)
特点 测量部件和测量电路一体化集成 模拟输出和设定点输出 独立的模拟日志输出和设定点输出（显示单元） 采用DIN标准尺寸48 x 96 mm（显示单元） 用途 用于半导体，光学和电子零件制造的精密真空设备的压力范围内的过程控制 低真空范围的过程控制，适用于熔解炉等工业设备 具有多个工艺腔体的真空系统的压力范围内的过程控制，例如in-line式溅射设备和晶圆制造设备 规格 传感器 单元 显示单元 特征 数字 数字4CH 皮拉尼真空计 SW1 SP1 ISG1 IM1R1 IM2R1 ・10-2～10+5Pa ・价格低 热的 阴极 真空计 SH2 ・5x10-8～9.9x100Pa ・测量范围广 ・多离子真空计适用 冷 阴极 真空计 SC1 ・5x10-5～1Pa ・低运行成本 电容 压力计 CCMT-D DC15V DC24V ・陶瓷隔膜规格 ・可以高精度测量低，中真空 特征 ・测定子一体型 ・类似物输出 ・设定点输出 ・DC24V适用 ・设定点3点 ・查看方便LED ・4CH同时表示 ・设定点8点 ・节省空间
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