ULVAC 皮拉尼真空计 SP1
特点 传感器规格：如果不需要压力指示器 ・真空计成降低 ・控制板空间节省 ・配线简化 测定子更换更容易 灯丝使用耐腐蚀材料铂 到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用 可以输出2个设定点 SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出） 电源电压：24 VDC输入 用途 用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制 规格 型号 传感器单元 型式 SP1 適応測定子 WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 測定精度 ±15 %（51 Pa ～760 Pa） ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） 使用温度範囲 10～40℃ 采样时间 50ms 5回の移動平均処理 測定値出力 非線形出力：DC0-5V（Max.10V） (更新時間) 50 ms (分解能) 10 mV 用于设定点 1/2 调节的输出 非線形出力：DC 0-5V（Max.10V） 制御出力信号 集电极开路，负逻辑 Error信号 设定点 1/2 LED表示 电源、错误、设定点 1/2 電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） 输入/输出连接器 D-sub-15P（M2.6 screw） 本体質量 190g（不包括测量元件） 付属品 输入/输出连接器 1 套 快速手册 1 份 IO、模拟 GND 和电源 GND 未隔离。
測定精度
測定値出力
付属品
IO、模拟 GND 和电源 GND 未隔离。
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