皮拉尼真空计

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产品名称: 皮拉尼真空计
产品型号: SW1-2(日本产) / SW1-N2(中国产)
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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皮拉尼真空计  的详细介绍

ULVAC 皮拉尼真空计 SW1-2(日本产) / SW1-N2(中国产)

特点
测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa
抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请**)
优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本**第4878289号)
灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高:配备可确认异常的LED
一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整
维护:更换测定子更轻松
适用测定子扩展:除了NW16 / 25规格外,还将Φ15/ 18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中
用途
太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动・冲击的各种真空排气系统
规格

型号 SW1-1 SW1-2
可连接传感器头 1 pc
兼容传感器头  SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1")
可测量压力范围  5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
密度* 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
重复性 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
采样时间 50ms 5回の移動平均処理
值输出   输出电压 DC 0 至 10V
压力指示(对数) 1.7V 至 8.0V 1V/分度
(更新时间)50ms
控制输入信号 集电极开路输入,负逻辑 -
ADJ 调节(零点、气压调节) - 控制输出信号 -
控制输出信号

集电极开路输出,负逻辑 
 [额定值:30VMAX、50mAMAX、70mW]

-
误差信号 -
设定点 1、2 -
设定点监控器   设定点 1、2:0 至 10V 日志输出 - 串行 -
串行通信类型 - RS232C/RS485
LED 显示屏  POWER/ERROR: 电源错误 LED
SET-1: Set point 1LED -
SET-2: Set point 2LED -
灯丝侧 Pt
工作温度范围 10 ~ 40℃
工作湿度范围 15 ~ 80% (非冷凝)
IP 等级 IP30(传感器单元)
固定位置 自由
电源电压 DC18V ~ 30V, 2W 带电源输入时为 4.8W)
输入/输出连接器 D-sub 15-pin M2.6 毫米螺钉)- 传感器单元侧面
重量 150g (with SWP-16)
尺寸(电源) W×D×H 70mm×46mm×28mm
标准附件 快速手册
选件 输入/输出连接器(D-sub 15 插口(M2.6 毫米螺钉))、检测结果数据表、常规校准测试报告、JCSS 校准证书
适用标准 CE


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