ULVAC 热阴极电离真空计 SH200-E
特点 可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据 小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别*小的产品之一。 操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。 更强大的产品阵容:除模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。 灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。 压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~5×10-8Pa)(选配SWU10-R的情况下)。 可以**的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。 用途 用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控,包括半导体和电子元件。 用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量,例如in-line式和枚叶式 高真空・超高真空设备的压力测量 规格
SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选,多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式
当需要确认大气压,如腔体打开的情况下,推荐使用三合一组合
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