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热阴极电离真空计

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 热阴极电离真空计
产品型号: SH200-R
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

热阴极电离真空计  的详细介绍

ULVAC 热阴极电离真空计 SH200-R 

特点
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别*小的产品之一。
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以**的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用途
用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。
用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式
高真空・超高真空设备的压力测量
规格

型号 SH200-A SH200-R HT200-E
（即将上市）
规格 标准规格 串口通信规格 EtherCAT规格
适应多离子传感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器 多离子传感器：1本
皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）
大其他传感器SAU：1本（可选）
测量精度（N2） SH200本体模式：±2％
取样时间 60ms 5回 移動平均処理
測定値出力 出力电压 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间 60msec
控制输入信号 FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
* FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异 		- -
制御出力信号 传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V 		- -
串行通信规格 - RS232C/RS-485 EtherCAT
LED显示 POWER/ERROR： 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS 电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
测量部耐圧性 2×10+5Pa （**压力）
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用温度范围 10～50℃
使用湿度范围 15～80%(不结露)
保管温度 -20～65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級 IP30
电源电压 DC20～28V (波纹，噪音1%以下)
8W以下
输入/输出连接器 D-sub15销（M2.6螺丝）
重量 调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H 69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格 CE
选项 多离子传感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材质：灯丝1,2 -Ir/Y2O3壳
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niﾒｯｷ
皮拉尼真空计传感器 SWU10-R　※也支持传统的SPU产品。
皮拉尼真空计 SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材质：灯丝－Pt, 其他－BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
大气压传感器 SAU(NW16) 材质：SUS316L
单位电缆 GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
显示单元 1CH：ISG1 (DC24V电源使用)
显示单元电缆 SH200～显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
连接器 入出力连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
其他 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各种模式规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选，多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式

模式 SH200-A/SH200-R/SH200-E
单体模式 		SH200-A/SH200-R/SH200-E
＋SWU10-R
组合模式 		SH200-A/SH200-R/SH200-E
＋SWU10-R＋SAU
组合模式
测量圧力范围 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa
测量精度 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa：
±15% 		5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa：±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10%
1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20% 		5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa：±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10%
1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa･基准温度25℃)
连接方式图解 SH200_S.png SH200+SWU10-R.png SH200+SWU10-R+SAU.png
测定压力范围图解 SH200_i.png

当需要确认大气压，如腔体打开的情况下，推荐使用三合一组合



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