性能多方位升级，稳定可靠——KURABO仓纺 ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P）升级版浓度计技术解析

在半导体湿法工业生产中，刻蚀、清洗、电镀等核心工序的药液浓度稳定性，直接决定晶圆良率、生产成本及生产效率，是工业制程管控的核心环节。KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P）作为经典款 Pro-2（KIS）的重磅升级版浓度计，在精度、响应速度、稳定性与智能化适配性上多方位提升，以更强性能满足先进制程在线监测需求，为半导体湿法工业产线提供更精准、更可靠的浓度管控支撑。

一、品牌底蕴：30 余年技术深耕，铸就精密标杆

KURABO 仓纺创立于 1888 年，总部位于日本大阪，是全球知名多元化精密制造企业。自 1990 年进军红外液体浓度检测领域，聚焦半导体等精密制造场景，依托 30 余年光学技术积淀与严苛品控，推出多系列设备，全球累计销量超 3000 台，获行业头部企业认可。公司通过 ISO9001 与 ISO14001 认证，ChemicAlyzer 系列融合自研近红外分光技术、智能算法与耐腐蚀设计，代表其在该领域的先进水平。本次推出 Pro-2+（KIS-P）升级版机型，进一步强化产品竞争力，为先进制程提供更稳定可靠的支撑。

二、产品核心参数：升级版小体积高精度，性能多方位跃升

ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P）是 Pro-2（KIS）升级版一体型在线近红外液体浓度计，专为半导体 20–30℃洁净室优化设计，采用近红外透射分光原理，8 波长光学滤镜分光，可精准测量 1–2 种药液成分，安装调试便捷。核心规格如下：

产品类型：近红外在线浓度计（Pro-2 升级版，适配半导体先进湿法工序）

测量原理：近红外透射法，搭载专用光学滤镜，支持多波长同步检测

测量对象：半导体湿法工序常用药液（H₂O₂、HCl、H₂SO₄、TMAH、BOE 等）

测量精度：±0.01%（TMAH 等关键药液），相比标准版精度大幅提升，支持微量浓度波动捕捉

响应时间：≤15s，响应速度更快，实时反馈浓度数据，无延迟

接液材质：石英（常规药液）、蓝宝石（强腐蚀药液）

安装方式：壁挂式 / 机架式，适配洁净车间安装

电源要求：AC 100-220V，50/60Hz，功率 100W

环境适配：温度 20-30℃，无冷凝，适配洁净车间等级

信号输出：4-20mA 模拟信号、RS-485 数字信号，支持 PLC 与 MES 联动

尺寸（W×D×H）：270×340×257mm

重量：约 16kg

三、核心技术优势：升级版四大亮点领跑同级设备

升级版一体化紧凑设计，安装维护更便捷：在 Pro-2 基础上优化集成结构，测量与数据处理单元高度整合，内部校正模块多方位升级。自带升级版纯水校正自动管路切换阀，支持一键操作与 DIW 自动零点校正，简化按键设计，无需专业培训即可上手，低改造导入，可快速替换标准版 Pro-2 及其他品牌设备。

升级版近红外超高精度检测，精准捕捉微小波动：搭载仓纺新一代近红外透射分光技术，在标准版基础上进一步提升检测精度，专属波长搭配独立校准曲线，机间误差更小，可精准捕捉微量浓度变化。区别于电化学检测，不受浊度、气泡、温度波动影响，抗干扰强，响应更快，为先进工艺闭环控制提供更强支撑。

升级版高可靠免维护，长期稳定运行：核心部件采用工业级高耐久升级设计，寿命支持 10 年以上，仅需定期更换 lamps，维护成本更低。接液部件采用升级耐腐蚀材质，防漏液安稳设计，适配强腐蚀药液，长期稳定性更优异，适配 24 小时连续生产。

升级版多工况适配，通用性更强：可测量半导体全湿法工序常用药液，提供石英池、蓝宝石池两种选择，适配 HF 等特殊药液。在标准版基础上新增数字信号输出，可无缝对接 PLC 与 MES 系统，实现数据实时传输与远程监控，智能化适配性多方位优于标准版。

四、应用场景：升级版覆盖半导体湿法制程全场景

Pro-2+（KIS-P）升级版广泛应用于半导体晶圆清洗、刻蚀、电镀、抗蚀剂剥离、药液再生等核心湿法工序，同时适配液晶面板、精密电子、电池材料等领域。清洗工序监测 SC-1、SC-2 等药液，提升晶圆洁净度；刻蚀工序控制 BOE、HF 等浓度，保障刻蚀均匀性；剥离工序监测 TMAH 浓度，避免残留或过度剥离；药液再生环节实现精准配比与循环利用，降低成本、减少废液排放。

五、总结

KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P）作为 Pro-2（KIS）正式升级版机型，集升级结构、超高精度、高稳定、强智能化适配于一体，以多方位跃升的性能满足先进半导体制程更严苛的浓度监测要求。作为日系匠心升级产品，其成熟技术与便捷维护设计，可有效助力企业提升晶圆良率、降低生产成本、增强整体竞争力，是半导体在线浓度监测的优选解决方案。

（图1）Pro-2+（KIS-P）产品展示