Cygnus 2 薄膜沉积控制器

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产品名称: Cygnus 2 薄膜沉积控制器
产品型号: CYG2-1100
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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Cygnus 2 薄膜沉积控制器  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 Cygnus 2 薄膜沉积控制器
产品名称 Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
频率分辨率 ±0.0035 Hz @6 MHz
速率分辨率 0.00433 Å/s,每 0.10s
测量晶振频率范围 6.0~4.5 MHz(固定)
厚度精度 0.5%
测量周期 0.10s,支持多档平均滤波
传感器通道 *多 6 路
蒸发源通道 *多 6 路,控制电压 0~±10V (dc)
材料程序 6 组独立材料配方,支持数据记录、USB 存储
通讯接口 标配 RS-232,可选 Ethernet
I/O 端口 标配 14 路 TTL 输入,8 路继电器输出;可扩展
DAC 输出 标配 6 路,可额外增配 6 路
工作温度 0~50℃
整机尺寸 133×483×330 mm
整机重量 5.9 kg
电源 100~230 V(ac) ±15%,50/60Hz
屏幕 高亮 TFT LCD 显示屏
适用领域 OLED 真空镀膜、精密薄膜沉积工艺

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