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水晶式成膜控制器

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产品名称: 水晶式成膜控制器
产品型号: CRTM-6000G
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

水晶式成膜控制器  的详细介绍

ULVAC  水晶式成膜控制器 CRTM-6000G

特点
优异的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低时也可以进行控制
125 ms的快速采样率可以很好地控制
可实现多层膜厚控制，*多可达99层
标准配有RS232C通信
*多可连接2个单传感器（可切换）
配备可编程数字输入/输出（各12ch）和模拟输出（3ch）
用途
蒸发时的膜厚及速率控制
规格

薄膜厚度/速率分辨率 0.041 A (5 MHz)
0.029 A (6 MHz)
薄膜厚度显示范围/显示分辨率/td> 0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ)
沉积速率显示范围/显示分辨率 0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s)
支持的传感器频率 5MHz, 6MHz
可连接的传感器数量 单传感器：2（不能同时测量。 这是开关类型。）
多传感器：1
采样率 125ms
支持的多层薄膜层数 99 layers
沉积程序数 99
数字输入/输出 输入：12 个可编程通道
输出：12 通道可编程
模拟输出 3 通道可编程
外部尺寸  W×D×H 240mm x 350mm x 99mm


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