Zevision IMC300 膜厚沉积控制器

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产品名称: Zevision IMC300 膜厚沉积控制器
产品型号: IMC300-CN
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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Zevision IMC300 膜厚沉积控制器  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 Zevision IMC300 沉积控制器
产品名称 Zevision IMC300 膜厚沉积控制器
晶振频率范围 6.0~4.5 MHz
频率分辨率 ±0.00656 Hz @6 MHz
频率精度 ±2.5 ppm,0~50℃
测量速率 10 Hz
厚度精度 0.5%;速率精度 0.1%
可存储工艺 200 组;单工艺*多 200 层
工作温度 0~50℃
整机重量 4.1 kg
电源 125/250 V ac,50/60 Hz
机架尺寸 132.5×213.1×314.3 mm
源通道 标配 2 路 BNC,选配扩展至 4 路
传感器通道 标配 2 路,选配扩展至 4 路
显示 800×480 WVGA TFT 触控屏
通讯接口 RS-232、以太网
数字 I/O 8 路事件输入、6 路继电器输出,可扩展
认证 CE,配套 2 年标准质保
适用领域 光学真空镀膜、薄膜沉积工艺控制

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