Sion 射频检测器

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产品名称: Sion 射频检测器
产品型号: Sion 标准版
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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Sion 射频检测器  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 Sion™ RF 等离子电弧检测器
产品名称 Sion™ RF Detector 射频检测器
输入电压 1 VRMS ~ 5000 VRMS
输入电流 10 mA RMS ~ 70 A RMS
输入频率范围 350 kHz ~ 41 MHz
检测器额定电压 *高 5000 V (dc)、5000 VRMS
转换器信号输入 ≤2 V (ac) p-p,双通道,350kHz~41MHz
工作环境温度 10℃ ~ 80℃
检测器探头尺寸 0.50in(12.7mm)×1.50in(38.1mm)×0.38in(9.5mm)
转换器主体尺寸 2.88in (73.15mm) 长
适用工艺 IPVD、PECVD、等离子刻蚀、CVD 沉积
功能 等离子微电弧实时检测、腔体清洗终点判定
适用领域 半导体晶圆制造

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