ER 便携式气质联用仪

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产品名称: ER 便携式气质联用仪
产品型号: HAPSITE ER-NIST
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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ER 便携式气质联用仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 HAPSITE ER
产品名称 便携式气相色谱质谱联用仪 GC/MS
外形尺寸 46×43×18(cm)
整机重量 19 kg(含电池)
工作温度 5–45℃
供电方式 可充电镍氢电池组 / AC 适配器,24V 直流,正常工况 30W
电池续航 2–3 小时
内置存储 16GB
接口 USB、802.11G 无线、以太网
显示屏 6.5 英寸 VGA 彩色触摸屏
进样方式 标配空气探头,可选其它采样配件
载气 氮气
处理器 Intel Pentium 处理器
质谱质量范围 41–300 AMU;SIM 模式 1–300 AMU
扫描速率 1000 AMU / 秒,每 AMU 采集 10 个点
电离方式 70eV 电子轰击电离
检测器 电子倍增器
真空系统 非蒸散型吸气剂 (NEG) 泵
动态范围 7 个数量级
色谱柱 15M, Rtx-1MS,内径 0.25mm,膜厚 1.0μm(标配)
柱温范围 45–200℃
检出限 多数待测物可达 PPT 级别
内置谱库 AMDIS 质谱库、NIOSH 库,NIST 库可选配
可检测物质 挥发性有机物 VOC、半挥发性有机物 SVOC、有毒工业化学品、化学战剂
功能特点 内置 GPS,记录采样坐标;彩色危险等级提示;预编程检测方法,支持配件扩展
应用领域 环境评估、化学监测、突发应急检测

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