日本 HEMMI 产品特点：
日本 HEMMI 传承百余年精密加工工艺，具备成熟精密制造管控能力。产品涵盖印制线路基板、流体制控器械、半导体制造及分析试验装置，制造标准严谨，加工精度稳定。流体控制设备密封性、响应性能优异；半导体相关装置适配洁净工况，可满足精密分析、样品测试需求；线路基板工艺可靠，适配精密电子组装场景。企业拥有完善品控体系，取得 ISO14001 环境管理体系认证，可支持定制化方案。
应用行业：
核心面向半导体产业，用于晶圆制程、理化分析与各类试验检测；在精密电子行业，为各类仪器设备提供高品质线路基板；流体制控部件适配实验室分析设备、工业流体输送场景。同时服务精密测量、科研机构、自动化设备制造领域，并依托进出口业务，对接海内外工业客户，持续为高精密制造产业链提供配套解决方案。
项目 参数信息 型号系列 CF-300-A、CF-300-B、CF-300-C、CF-300-D 流量控制 热式质量流量控制器 MFC；量程 5～500mL/min 可选；精度 ±0.2% FS；*高操作压力 0.9MPa，耐压 1.47MPa 气路阀门 止回阀 SUS316；3 路球阀截止阀，弹簧驱动结构 加热炉体 标准 1 温区，可选升级 3 温区；常用 600℃，*高 800℃，纵向二段构造 反应管 标准 φ12.7 (OD)×300mm；可选 φ9.53、φ24.5；材质 SUS316，可选 VCR 接头 / 石英管 运行压力 常压运行；加压功能为选配 拓展选项 液态原料蒸发器、脉冲进样单元、水分去除单元、微型 GC、加压组件 外形尺寸 W650×H1100×D500(mm) 整机重量 50kg CF-300-A 配置 基础 3 路 MFC，单温区电炉，标准 φ12.7 SUS316 反应管，常压基础气路 CF-300-B 配置 3 路 MFC，单温区电炉，配备蒸发器，液态原料供给套件 CF-300-C 配置 3 路 MFC，升级 3 温区电炉，蒸发器，石英反应管 CF-300-D 配置 3 路 MFC，3 温区电炉，蒸发器，石英反应管，脉冲进样模块 + 水分去除单元
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