经济型小型质量流量传感器

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产品名称: 经济型小型质量流量传感器
产品型号: HM9500B07AS0
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: 日本 HEMMI
产品文档: 无相关文档

经济型小型质量流量传感器  的详细介绍

HEMMI 逸见 产品特点:

HEMMI(逸见)传承百余年精密加工工艺,具备成熟精密制造管控能力。产品涵盖印制线路基板、流体制控器械、半导体制造及分析试验装置,制造标准严谨,加工精度稳定。流体控制设备密封性、响应性能优异;半导体相关装置适配洁净工况,可满足精密分析、样品测试需求;线路基板工艺可靠,适配精密电子组装场景。企业拥有完善品控体系,取得 ISO14001 环境管理体系认证,可支持定制化方案。

应用行业:

核心面向半导体产业,用于晶圆制程、理化分析与各类试验检测;在精密电子行业,为各类仪器设备提供高品质线路基板;流体制控部件适配实验室分析设备、工业流体输送场景。同时服务精密测量、科研机构、自动化设备制造领域,并依托进出口业务,对接海内外工业客户,持续为高精密制造产业链提供配套解决方案。



项目 参数信息
型号 HM9500B
量程 5/10/20/30/50/100/200/300/500/1000SCCM
测量范围 0~100%F.S
响应特性 达到满量程 ±2% 以内 ≤4 秒
精度 ±5%F.S
直线性 ±3%F.S
再现性 ±1%F.S
适用气体 N₂、Air、O₂、H₂、He、Ar
接气材质 SUS316、FKM、POM
输出信号 0-5VDC
使用温度 5~45℃
温度特性 0.2%F.S/℃
*高工作压力 500kPa
耐压 700kPa
泄漏指标 1×10⁻⁶ Pa・m³/sec (He) 以下
安装方式 任意姿态(误差 ±0.5% F.S)
标准接头 1/4 卡套;可选 M5、Rc1/8
供电电源 24VDC,50mA
重量 约 150g
标配附件 1 米连接线

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