经济型质量流量计

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产品名称: 经济型质量流量计
产品型号: HM1111B
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: 日本 HEMMI
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经济型质量流量计  的详细介绍

HEMMI 逸见 产品特点:

HEMMI(逸见)传承百余年精密加工工艺,具备成熟精密制造管控能力。产品涵盖印制线路基板、流体制控器械、半导体制造及分析试验装置,制造标准严谨,加工精度稳定。流体控制设备密封性、响应性能优异;半导体相关装置适配洁净工况,可满足精密分析、样品测试需求;线路基板工艺可靠,适配精密电子组装场景。企业拥有完善品控体系,取得 ISO14001 环境管理体系认证,可支持定制化方案。

应用行业:

核心面向半导体产业,用于晶圆制程、理化分析与各类试验检测;在精密电子行业,为各类仪器设备提供高品质线路基板;流体制控部件适配实验室分析设备、工业流体输送场景。同时服务精密测量、科研机构、自动化设备制造领域,并依托进出口业务,对接海内外工业客户,持续为高精密制造产业链提供配套解决方案。



项目 参数信息
产品系列 HM1000(质量流量计 / 质量流量控制器)
型号分类 流量计:HM1121B (经济型)、HM1111B (通用型)
流量控制器:HM1171B/HM1181B (经济型)、HM1141B/HM1151B (通用型,NO 为常开阀)
流量量程 流量计:5~1000SCCM
流量控制器:2SCCM~20SLM
控制范围 2~100%F.S
精度 经济型 ±2% F.S;通用型 ±1.5% F.S
直线性 经济型 ±1% F.S;通用型 ±0.7% F.S
再现性 ±0.2%F.S
响应性 满量程设定到达 ±2% 以内:2 秒以内
*高工作压力 970kPa
耐压 1470kPa
压力损失 4.9kPa
动作压差 5SCCM~5SLM:34.3~274.4kPa
10SLM~20SLM:68.6~274.4kPa
泄漏规格 1×10⁻⁹Pa・m³/sec (He) 以下
信号规格 设定 / 输出:0.1~5VDC
使用温度 5~45℃
接触介质材质 SUS316、FKM,可选 PTFE
标准接头 1/4 卡套接头(可选 1/4 VCR)
电源 ±15VDC;流量计功耗≤1W,流量控制器功耗≤3W
重量 流量计 680g;流量控制器 800g

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