数字式自动压力调节器

Name: 数字式自动压力调节器
Brand: HORIBA 堀场
SKU: UR-Z732

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产品名称: 数字式自动压力调节器

产品型号: UR-Z732

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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数字式自动压力调节器 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	UR-Z712	UR-Z714	UR-Z732	UR-Z734
通讯类型	数字 / 模拟通用型	DeviceNet 总线型	数字 / 模拟通用型	DeviceNet 总线型
安装总高度 H	126mm	126mm	145mm	145mm
安装高度 H1	132mm	142mm	151mm	161mm
安装高度 H2	-	113mm	-	132mm
厚度 T	28.5mm	28.5mm	38.3mm	38.3mm
阀体宽度 W	63.8mm	63.8mm	66mm	66mm
安装孔距 A	20mm	20mm	20mm	20mm
安装孔距 B	21.9mm	21.9mm	21.9mm	21.9mm
安装孔距 C	15mm	15mm	15mm	15mm
总长 D	12.7mm	12.7mm	12.7mm	12.7mm
标准 VCR 接口	1/4 寸可选	1/4 寸可选	3/8 寸可选	3/8 寸可选
响应速度	≤0.5s	≤0.5s	≤0.5s	≤0.5s
结构材质	M 型全金属洁净腔体	M 型全金属洁净腔体	M 型全金属洁净腔体	M 型全金属洁净腔体
控制方式	入口 (-B)/ 出口双选型	入口 (-B)/ 出口双选型	入口 (-B)/ 出口双选型	入口 (-B)/ 出口双选型
压力类型	表压 / 绝压可选	表压 / 绝压可选	表压 / 绝压可选	表压 / 绝压可选
合规标准	常规款	常规款	常规款	符合 RoHS

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