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数字液体流量控制器

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产品名称: 数字液体流量控制器
产品型号: LF-F20M-A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: HORIBA 堀场
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数字液体流量控制器  的详细介绍

HORIBA堀场 产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。


应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。



参数项目 LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A
流量量程 (g/min) 0.02/0.05/0.1 0.2/0.5 1/2/5 10/20 50/100
有效测量区间 5~100%FS 5~100%FS 5~100%FS 5~100%FS 5~100%FS
适配液体 不含腐蚀不锈钢介质（盐酸、氢氟酸除外） 不含腐蚀不锈钢介质（盐酸、氢氟酸除外） 不含腐蚀不锈钢介质（盐酸、氢氟酸除外） 不含腐蚀不锈钢介质（盐酸、氢氟酸除外） 不含腐蚀不锈钢介质（盐酸、氢氟酸除外）
*高粘度 100cP(0.1Pa·s) 100cP(0.1Pa·s) 100cP(0.1Pa·s) 100cP(0.1Pa·s) 100cP(0.1Pa·s)
测量精度 ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS
线性度 / 重复性 ±0.5%FS / ±0.5%FS ±0.5%FS / ±0.5%FS ±0.5%FS / ±0.5%FS ±0.5%FS / ±0.5%FS ±0.5%FS / ±0.5%FS
响应速度 (T98) ＜3s ＜3s ＜2s ＜2s ＜2s
工作温度 5~50℃ 5~50℃ 5~50℃ 5~50℃ 5~50℃
温度系数 ±0.1% FS/℃，*大 ±1% FS ±0.1% FS/℃，*大 ±1% FS ±0.1% FS/℃，*大 ±1% FS ±0.1% FS/℃，*大 ±1% FS ±0.1% FS/℃，*大 ±1% FS
工作压力 流量计*大 5MPa；带压电阀控制 300kPa 流量计*大 5MPa；带压电阀控制 300kPa 流量计*大 5MPa；带压电阀控制 300kPa 流量计*大 5MPa；带压电阀控制 300kPa 流量计*大 5MPa；带压电阀控制 300kPa
耐压上限 10MPa 10MPa 10MPa 10MPa 10MPa
*大压降 500Pa 500Pa 500Pa 500Pa 500Pa
流量信号 模拟 0~5VDC、数字 RS485 模拟 0~5VDC、数字 RS485 模拟 0~5VDC、数字 RS485 模拟 0~5VDC、数字 RS485 模拟 0~5VDC、数字 RS485
供电规格 ±15V±5%，200mA ±15V±5%，200mA ±15V±5%，200mA ±15V±5%，200mA ±15V±5%，200mA
泄漏标准 5×10⁻¹¹Pa·m³/s(He) 5×10⁻¹¹Pa·m³/s(He) 5×10⁻¹¹Pa·m³/s(He) 5×10⁻¹¹Pa·m³/s(He) 5×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)
润湿材质 SUS316L、Ni SUS316L、Ni SUS316L、Ni SUS316L、Ni SUS316L、Ni
标准接头 1/16、1/8 卡套 / 1/8VCR 外螺纹 1/8 卡套 / 1/8VCR 外螺纹 1/8 卡套 / 1/8VCR 外螺纹 1/8 卡套 / 1/8VCR 外螺纹 1/4 卡套 / 1/8VCR 外螺纹


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