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半导体全自动供液系统

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产品名称: 半导体全自动供液系统
产品型号: LU-A1200
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: HORIBA 堀场
产品文档: 无相关文档

半导体全自动供液系统  的详细介绍

HORIBA堀场 产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。


应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。



参数项目 LU-A1100 LU-A1200 LU-A1300 LU-A1400
适配液体 TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS
输送动力 He 气压驱动 He 气压驱动 He 气压驱动 He 气压驱动
供气压力区间 输送 0.3~0.6MPa；吹扫 N₂ 0.6~0.7MPa 输送 0.3~0.6MPa；吹扫 N₂ 0.6~0.7MPa 输送 0.3~0.6MPa；吹扫 N₂ 0.6~0.7MPa 输送 0.3~0.6MPa；吹扫 N₂ 0.6~0.7MPa
适配料罐规格 *大 5 加仑外置料罐 *大 5 加仑外置料罐 *大 5 加仑外置料罐 *大 5 加仑外置料罐
控制方式 外部信号启停 + 前端触控屏 外部信号启停 + 前端触控屏 外部信号启停 + 前端触控屏 外部信号启停 + 前端触控屏
标配模块 蒸汽压力监测、脱气装置、故障急停 蒸汽压力监测、脱气装置、故障急停 蒸汽压力监测、脱气装置、故障急停 蒸汽压力监测、脱气装置、故障急停
可选配件 母罐称重传感器 母罐称重传感器 母罐称重传感器 母罐称重传感器
供电规格 AC100~240V 50/60Hz 300VA AC100~240V 50/60Hz 300VA AC100~240V 50/60Hz 300VA AC100~240V 50/60Hz 300VA
合规标准 SEMI S2/S8/S14、CE SEMI S2/S8/S14、CE SEMI S2/S8/S14、CE SEMI S2/S8/S14、CE


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