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直液注入汽化控制器

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产品名称: 直液注入汽化控制器
产品型号: VC-1410
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: HORIBA 堀场
产品文档: 无相关文档

直液注入汽化控制器  的详细介绍

HORIBA堀场 产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。


应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。



参数项目 VC-1410 VC-1420 VC-1430 VC-1440
TEOS *大液相转化流量 2.0 CCM 5.0 CCM 10 CCM 15 CCM
适配液体 TEOS、P(OCH3)3、C6F6 TEOS、P(OCH3)3、C6F6 TEOS、P(OCH3)3、C6F6 TEOS、P(OCH3)3、C6F6
*高升温温度 150℃ 150℃ 150℃ 150℃
运行工况 负压汽化 负压汽化 负压汽化 负压汽化
外部漏率 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 1×10⁻⁸ Pa·m³/s
内部漏率 1×10⁻⁶ Pa·m³/s 1×10⁻⁶ Pa·m³/s 1×10⁻⁶ Pa·m³/s 1×10⁻⁶ Pa·m³/s
介质接触材质 抛光 316L 不锈钢 抛光 316L 不锈钢 抛光 316L 不锈钢 抛光 316L 不锈钢
内置加热功率 AC100~120V 70W(35W×2) AC100~120V 70W(35W×2) AC100~120V 100W(50W×2) AC100~120V 100W(50W×2)
温度传感器 K 型热电偶 K 型热电偶 K 型热电偶 K 型热电偶
耐压 1.0MPa(G) 1.0MPa(G) 1.0MPa(G) 1.0MPa(G)
标准接口 液入口 1/8VCR 外丝；气出口 1/4VCR 内丝 液入口 1/8VCR 外丝；气出口 1/4VCR 内丝 液入口 1/8VCR 外丝；气出口 1/4VCR 内丝 液入口 1/8VCR 外丝；气出口 1/4VCR 内丝
通讯协议 DeviceNet、SEF/LF 数字控制 DeviceNet、SEF/LF 数字控制 DeviceNet、SEF/LF 数字控制 DeviceNet、SEF/LF 数字控制
环保标准 RoHS 合规 RoHS 合规 RoHS 合规 RoHS 合规


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