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紧凑型加热汽化系统

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产品名称: 紧凑型加热汽化系统
产品型号: LSC-B100
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: HORIBA 堀场
产品文档: 无相关文档

紧凑型加热汽化系统  的详细介绍

HORIBA堀场 产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法*液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱*液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。


应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。



参数项目 LSC-A100 LSC-A200 LSC-B100 LSC-B200
*大汽化流量 H₂O 2SLM / TEOS 600SCCM H₂O 3SLM / TEOS 800SCCM H₂O 2SLM / TEOS 600SCCM H₂O 3SLM / TEOS 800SCCM
*高工作压力 1.33kPa(G) 1.33kPa(G) 1.6kPa(G) 1.6kPa(G)
原料罐容积 2.7L 2.7L 4L 4L
控温方式 PID 恒温调节器 PID 恒温调节器 PID 恒温调节器 PID 恒温调节器
液位检测 浮球开关 浮球开关 浮球开关 浮球开关
内置质量流量计 SEC-8400 系列 SEC-8400 系列 SEC-8400 系列 SEC-8400 系列
气控阀类型 波纹管阀 波纹管阀 波纹管阀 波纹管阀
接触介质材质 SUS316L、PFA SUS316L、PFA SUS316L、PFA SUS316L、PFA
环境工作温度 20~35℃ 20~35℃ 20~35℃ 20~35℃
供电规格 AC100V 单相 50/60Hz 1.5kVA AC100V 单相 50/60Hz 1.5kVA AC100V 单相 50/60Hz 1.8kVA AC100V 单相 50/60Hz 1.8kVA
配套补液系统 支持 LU 系列自动补液 支持 LU 系列自动补液 支持 LU 系列自动补液 支持 LU 系列自动补液
选配功能 PDA 运行监控 PDA 运行监控 PDA 运行监控、液位拓展 PDA 运行监控、液位拓展


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