质量流量控制器

Name: 质量流量控制器
Brand: HORIBA 堀场
SKU: SEC-510

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产品名称: 质量流量控制器

产品型号: SEC-510

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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质量流量控制器 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数	SEC-405	SEC-400MK3	SEC-510	SEC-620
标准量程 (N₂)	10~500SCCM	10~500SCCM/10~20SLM	10~20SLM	50~150SLM
精度	±0.5%FS	±2%FS	±1%FS	±2%FS
线性度	±0.5%FS	±1%FS	±0.5%FS	±1%FS
重复精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.4%FS
压差范围	50~300kPa(d)	50~300kPa(d)	100~300kPa(d)	50~300kPa(d)
输入信号	0.1~5VDC	0.25~5VDC	0.1~5VDC	0.5~5VDC
标准接头	1/4 Swagelok	1/4 Swagelok	1/4 Swagelok	3/8 Swagelok
阀门类型	上电开 O	上电开 O	上电开 O	上电开 O

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