微流量压强不敏感质量流量模块

Name: 微流量压强不敏感质量流量模块
Brand: HORIBA 堀场
SKU: D717uF-M1

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产品名称: 微流量压强不敏感质量流量模块

产品型号: D717uF-M1

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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微流量压强不敏感质量流量模块 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

完整型号	满量程	进气压力区间	压差范围	下游压力上限	适配气体类型	润湿材质	流量精度 (25℃)	重复精度	阀体漏率	通讯接口	供电	净重	适用工艺场景
D717uF-L1	5SCCM	110~350kPa(A)	≥13.3kPa	≤53.3kPa	O₂、氮气、氩气等惰性 / 弱氧化气体	SUS316L、PFA	±1%S.P.(10~100%FS)；±0.1%FS(0.5~10%FS)	±0.25%S.P	＜0.015SCCM(N₂)	RJ45 EtherCAT	24VDC±4V，瞬时 9.6W	1.0kg	常规薄膜沉积、低压微量掺杂
D717uF-M1	5SCCM	240~412kPa(A)	≥13.3kPa	≤53.3kPa	氧气、常规工艺氧化气体	SUS316L、Ni 合金、PFA	±1%S.P.(10~100%FS)；±0.1%FS(0.5~10%FS)	±0.25%S.P	＜0.015SCCM(N₂)	RJ45 EtherCAT	24VDC±4V，瞬时 9.6W	1.0kg	标准刻蚀、ALD 微量氧化气源供给
D717uF-M2	5SCCM	240~412kPa(A)	≥13.3kPa	≤53.3kPa	Cl₂、HF 等卤素强腐蚀特种气体	高镍耐蚀合金、PFA	±1%S.P.(10~100%FS)；±0.1%FS(0.5~10%FS)	±0.025%FS(0.5~10%FS)	＜0.015SCCM(N₂)	RJ45 EtherCAT	24VDC±4V，瞬时 9.6W	1.0kg	干法腐蚀刻蚀、化合物半导体外延微量气源
D717uF-H1	5SCCM	350~750kPa(A)	≥240kPa	≤53.3kPa	高压微量掺杂、高纯特种气源	SUS316L、PFA	±1%S.P.(20~100%FS)；±0.2%FS(1~20%FS)	±0.05%FS(1~20%FS)	＜0.015SCCM(N₂)	RJ45 EtherCAT	24VDC±4V，瞬时 9.6W	1.0kg	高压扩散炉、功率半导体 SiC/GaN 外延

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