高温数字式质量流量控制器

Name: 高温数字式质量流量控制器
Brand: HORIBA 堀场
SKU: SEC-8640D

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产品名称: 高温数字式质量流量控制器

产品型号: SEC-8640D

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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高温数字式质量流量控制器 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	规格说明
接触流体材质	316L 不锈钢（镜面抛光）
精度标准	流量＞30% FS：±1.0% 设定点；流量≤30% FS：±0.3% FS
线性度	±0.5%FS
重复性	±0.2% FS（小流量）/±0.3% FS（中大流量）
响应速度	≤1s（T98）
流量控制区间	2~100% FS；测量区间 0~100% FS
泄漏指标	≤5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（He）
耐压上限	1000kPa(G)
安装姿态	无方向限制
合规标准	RoHS、SEMI 洁净标准
工作温度分档	常温 AMB：15~35℃；中温 MM：35~60℃；高温 MH：60~80℃；高温 HM：80~100℃；极限 HIM：100~120℃

型号系列	标准满量程 (N₂)	标准接头	工作压差	阀型
SEC-84XX（8440F/D/E）	5/10/20/30/50/100/200/300/500SCCM、1/2/5/10SLM	1/4 英寸 VCR	50~300kPa(d)	常开
SEC-85XX（8540F/D/E）	3/5/10SLM	3/8 英寸 VCR	100~300kPa(d)	常开
SEC-86XX（8640F/D/E）	10/20/30/50/100SLM	1/2 英寸 VCR / 3/4 英寸 VCR	50~300kPa(d)	常开 / 常闭可选
SEC-87XX（8740F/D/E）	50/100/150SLM	1/2 英寸 VCR / 3/4 英寸 VCR	100~300kPa(d)	常开 / 常闭可选

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