数字质量流量控制器

Name: 数字质量流量控制器
Brand: HORIBA 堀场
SKU: SEC-Z524MGX

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产品名称: 数字质量流量控制器

产品型号: SEC-Z524MGX

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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数字质量流量控制器 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

型号	标准量程 (N₂换算)	通讯类型	响应速度	标准流体接口	工作压差	精度指标
SEC-Z514KX	0.5/1.75/5.5SCCM~5.5SLM	DeviceNet	≤1s	1/4 英寸 VCR	50~300kPa(d)	±1.0% FS 全量程
SEC-Z524MGX	10/22/30/50SLM	DeviceNet	≤1s	1/4 英寸 VCR	200~300kPa(d)	流量＞25% FS ±1.0% 设定点；≤25% FS ±0.25% FS
SEC-Z534MGX	100SLM	DeviceNet	≤1s	1/2 英寸 VCR	100~300kPa(d)	流量＞35% FS ±1.0% 设定点；≤35% FS ±0.35% FS
SEC-Z564MGX	500SLM	DeviceNet	≤2s	1/2 英寸 VCR	250~350kPa(d)	流量＞50% FS ±2.0% 设定点；≤50% FS ±1.0% FS

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