压力补偿质量流量控制器

Name: 压力补偿质量流量控制器
Brand: HORIBA 堀场
SKU: SEC-Z724SMG

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产品名称: 压力补偿质量流量控制器

产品型号: SEC-Z724SMG

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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压力补偿质量流量控制器 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

型号	量程规格 (N₂换算)	通讯协议	供电接口	整机重量	阀体湿部材质	标准流体接口	阀门可选类型	核心压力补偿特性
SEC-Z714SMG	30/100/300SCCM、1SLM、3SLM	DeviceNet	M12 5pin	1.3kg	SUS316L、镍合金、PFA	1/4VCR /1.125 C/W-Seal	常闭 N.C/ 常开 N.O	压力波动抑制≤±(1.5% FS+1.5% S.P.)
SEC-Z717SMG	30/100/300SCCM、1SLM、3SLM	EtherCAT	M8 5pin	1.1kg	SUS316L、镍合金、PFA	1/4VCR /1.125 C/W-Seal	常闭 N.C/ 常开 N.O	压力波动抑制≤±(1.5% FS+1.5% S.P.)
SEC-Z724SMG	10/30/50SLM	DeviceNet	M12 5pin	1.3kg	SUS316L、镍合金、PFA	1/4VCR /1.125 C/W-Seal	常闭 N.C/ 常开 N.O	压力波动抑制≤±1.0% FS
SEC-Z727SMG	10/30/50SLM	EtherCAT	M8 5pin	1.1kg	SUS316L、镍合金、PFA	1/4VCR /1.125 C/W-Seal	常闭 N.C/ 常开 N.O	压力波动抑制≤±1.0% FS

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