大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点：
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年，核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术，依托复合叶片结构，拓宽有效抽气区间，对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性，拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型，可提供耐腐蚀特殊规格，满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组，实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业：
产品广泛应用于众多高精制造领域：半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工；理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置；航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备；同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景，大量配套日系精密工艺设备，可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
项目 VMA-50L-10K-1 VMA-100L-10K-1 VMA-100L-10K-8 VMA-200L-10K-3 公称口径 50A 100A 100A 200A 法兰规格 JIS 10K FF JIS 10K FF JIS 10K FF JIS 10K FF 系列分支 VMA-L-10K-1 VMA-L-10K-1 VMA-L-10K-3/8 VMA-L-10K-3/8 压力范围 1×10⁻⁵ ~ 1×10⁵ Pa 1×10⁻⁵ ~ 1×10⁵ Pa 1×10⁻⁵ ~ 9×10⁵ Pa 1×10⁻⁵ ~ 3×10⁵ Pa 允许压差 0~101 kPa 0~101 kPa 0~0.8 MPa 0~0.29 MPa 工作温度 10~40℃ 10~40℃ 10~40℃ 10~40℃ 本体漏率 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 气缸供气压力 0.4~0.6 MPaG 0.4~0.6 MPaG 0.4~0.6 MPaG 0.4~0.6 MPaG 气缸缸径 (mm) 63 100 140 200 阀体材质 SS400 软钢镀镍 SS400 软钢镀镍 SS400 软钢镀镍 SS400 软钢镀镍 标准密封 丁腈橡胶，可选氟橡胶 丁腈橡胶，可选氟橡胶 丁腈橡胶，可选氟橡胶 丁腈橡胶，可选氟橡胶 安装姿态 任意姿态 任意姿态 任意姿态 任意姿态
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