摆动阀双动式VFR 系列

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产品名称: 摆动阀双动式VFR 系列

产品型号: VFR-500

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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摆动阀双动式VFR 系列 的详细介绍

摆动阀双动式VFR 系列 VFR-500 ULVAC

特点
ULVAC**的技术
采用独特的密封机构和反向压力消除机构，不是使用机械锁定机构。
极少采用会导致partical产生的滑动部件
在打开/关闭或密封时几乎没有冲击（振动）
良好的维护性
无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳
可以在壳体移除后，仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元
可任意选择安装方向
VFR系列安装方向360度自由
用途
大型显示制造设备
有机EL制造设备
其他真空设备的主阀・分阀
规格

型号		VFR-400	VFR-500
公称口径		Φ400mm	Φ500mm
连接法兰（相当于JIS B2290）		VF400	VF500
开闭规格		2 位置
开闭动作原理		压缩空气工作式
开闭动作时间（2位置规格）		8sec	12sec
阀片密封性能		支持逆压
阀板密封*大允许压差(正压)		0.12 MPa
阀板密封*大允许压差(反压)		0.12 MPa
开关时*大允许压差(正压)		0.5 kPa
开关时*大允许压差(反压)		0.5 kPa
开放电导		50000L/s	90000L/s
使用压力范围		1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs)
允许烘烤温度（静止时）	阀体	< 120℃ (248F)
	汽缸	< 80℃ (176F)
动作环境温度		10 to 80℃ (50 to 176F)
使用流体温度		10 to 80℃ (50 to 176F)
汽缸供应压缩空气压力		0.50 to 0.70MPaG (72.5 to 101.5psi, 5.0 to 7.0bar)
压缩空气供应口径		Φ8管接头
维护周期		100,000
安装姿态		自由
主要部件材质	阀体	AC4CH-T6
	阀片	AC4CH-T6
密封部件材质	真空侧	氟橡胶
油脂类		Z300
重量		98kg	155kg
面之间的尺寸		150mm	170mm