富士科技 FUJI Technology 产品特点:
富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累,主营各类真空阀门与真空零部件,产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造,严控生产工艺,适配高洁净工况;品类体系完善,支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务,可满足设备定制、维护全周期需求。
应用行业:
产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域,同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构,适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景,能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求,为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。
完整型号 接口规格 通径 适用真空区间 漏率 动作方式 功耗 适用场景 ELV-2 螺纹接口 Φ25mm 大气压~10⁻¹Pa ≤1×10⁻⁸Pa·m³/s 真空先导、断电延时关闭 4W 小型旋片泵旁路、简易粗真空设备 ELV-2F 法兰接口 Φ25mm 大气压~10⁻¹Pa ≤1×10⁻⁸Pa·m³/s 真空先导、断电延时关闭 4W 固定安装真空腔体、管路分支 ELV-2NW NW25 快卸法兰 Φ25mm 大气压~10⁻¹Pa ≤1×10⁻⁸Pa·m³/s 真空先导、断电延时关闭 4W 快速拆装真空管路,实验室设备 ELV-2NW25W NW25 双侧法兰 Φ25mm 大气压~10⁻¹Pa ≤1×10⁻⁸Pa·m³/s 真空先导、断电延时关闭 4W 直通式真空主管路隔断
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